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認證資料 Certification Data

全自動刷片清洗設(shè)備，用于硅片、藍寶石片等材料片的清洗工藝。該設(shè)備利用刷洗的方式，對切、磨、拋后的晶圓進行清洗。

全自動單晶圓材料清洗設(shè)備，用于硅片、鍺片等材料片的最終清洗工藝。

CDS 化學(xué)液自動供給系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體材料加工、LED、太陽能光伏、MEMS及分立器件等行業(yè)中濕法設(shè)備化學(xué)液自動供給，可實現(xiàn)溶液自動加液、補液及配液

自動精密濕法刻蝕設(shè)備，可應(yīng)用于硅片清洗、無圖形薄膜去除（如氮化硅和鈦的去除）、鋁腐蝕、金刻蝕、鎳刻蝕、Si刻蝕、SiO2刻蝕等工藝。

SFQ/SFQZ系列濕法設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導(dǎo)體材料加工、太陽能光伏等領(lǐng)域，用于各種半導(dǎo)體基片及類似材料制造過程中濕化學(xué)處理工藝，有手動、半自動及全自動三種配置。

自動去膠清洗設(shè)備，用于去除基片表面刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護膜的光刻膠掩膜，也可用于基片表面其它有機物的等離子體清洗。

四十五所密切跟蹤太陽能光伏行業(yè)發(fā)展，致力于“設(shè)備+工藝”的研發(fā)模式，現(xiàn)已形成30MW和60MW兩種能規(guī)模的主流生產(chǎn)線的設(shè)備配套能力，批次處理產(chǎn)能為200片，300片，400片。目前用戶分布在廣東、江蘇